深圳新聞網(wǎng)2025年11月13日訊（深圳特區(qū)報記者 張智偉）11月12日，全國產(chǎn)業(yè)計量融合創(chuàng)新發(fā)展會議在湖南衡陽召開。會議現(xiàn)場發(fā)布了市場監(jiān)管總局和工信部聯(lián)合開展的“計量支撐產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展2025年度十大重點項目”，深圳檢測院牽頭承擔(dān)的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”入選十大重點項目之一，劉鐵東院長上臺簽署項目任務(wù)書。

當(dāng)前，國內(nèi)相關(guān)裝備高度依賴進(jìn)口，國產(chǎn)化裝備空白導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)面臨“卡脖子”風(fēng)險。深圳檢測院承擔(dān)的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”項目，在自主研發(fā)的“平面掃描成像工業(yè)CT設(shè)備”基礎(chǔ)上推進(jìn)?，F(xiàn)有設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)實現(xiàn)芯片封裝、電路板等產(chǎn)品內(nèi)部三維結(jié)構(gòu)的快速重建與缺陷識別，最高分辨率達(dá)1微米，目前該設(shè)備已在多家企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)投入應(yīng)用。

為進(jìn)一步滿足高端芯片微納結(jié)構(gòu)檢測需求，服務(wù)我國高端集成電路與先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)，深圳檢測院積極推進(jìn)“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”。項目將引入AI技術(shù)，突破納米級分辨力成像、全自動缺陷識別與智能分析及控制軟件等關(guān)鍵技術(shù)，研制形成百納米級高分辨工業(yè)CT檢測裝置，同時建立配套計量檢測技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范，形成從核心裝備到系統(tǒng)解決方案的全鏈條支撐能力。